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高純氣體的重要標(biāo)度     通常，高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛（純度），氣體多少錢，微量水份（干燥度）污染物粒子的婁量保持在i低限度，其粒度也應(yīng)是i小的（潔凈度）。因此，對于高純氣體，純度、干燥度、潔凈是三項重要的標(biāo)度。     特別是近10年來，隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)，安徽氣體，對高純氣體潔凈度的要求，其重要程度已不亞于對純度和干燥度有嚴(yán)格要求的用氣工藝，無一不對其中的粒子提出限制。
氣體與液體一樣是流體：它可以流動，可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。假如沒有限制（容器或力場）的話，氣體可以擴散，其體積不受限制。氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子相互之間可以自由運動。氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子的動能比較高。氣體分子間無作用力；氣體分子本身不占有體積；氣體分子與容器器壁間發(fā)生完全彈性碰撞。真實氣體在愈低壓、愈高溫的狀態(tài)，性質(zhì)愈接近理想氣體。接近理想氣體的氣體為氦氣。
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